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필독! 분석의뢰전 유의 사항
예약 전 반드시 관리자(ljm83@gknu.ac.kr, 054-820-7348)와 분석내용 상의 후 협의된 일자에 신청
1. 분석 시료 사용자 준비
2. 시편의 형태 - 벌크 시편의 높이는 20mm이하이고 아래/위 수평이 유지되어야 함. - 마운팅 시편은 높이 20mm 이하이고 아래, 위 수평이 되어야 함. - 측정 표면은 경면 폴리싱(Colloidal Silica or Alumina) 처리되어야 측정 정확도 및 신뢰도가 높아짐. - 가능하면 hot mounting(전도성 재료)을 권하며, 부득이한 경우 cold mounting(에폭시 재료)도 가능하나 경화후 충분히 가열 및 진공건조하기 바람. - 시편 제작시 생긴 시료(마운팅)내 gas 및 수분은 충분히 제거된 후 측정 가능.
3. 마운트 시편의 크기 - 직경 25mm, 32mm, 36mm 가능(높이 20mm) - 회전이 필요한 시편은 반드시 직경 25mm, 높이 20mm 이하로 제작 |
전계방출형 전자총(FE-Gun)에서 발생, 가속된 전자빔이 시료의 표면을 조사할 때 발생되는 특성 X-선을 여러 파장 영역대의 결정에 회절시킨 후 측정되는 파장과 강도로부터 마이크로 및 나노크기 영역의 구성원소의 정성분석 및 표준시료와의 비교 정량분석을 하며, 특정 라인상이나 영역의 원소의 분포양을 측정하는 Line analysis와 X-ray mapping이 가능하다. 또한 전자 조사에 의한 시료의 Outer Shell Electron의 전이에 의해 발생되는 가시광선 영역대의 음극발광(CL)으로부터 Spectrum 측정, 결합상태, 조직 결함 등을 측정한다.
• 제작사: Jeol(Japan)
• 모델명: JXA-8530F Plus
<주요 사양>
1. Electron gun: Schottky FE Emittoe
2. Acceleration Voltage: 1-30KeV
3. Resolution: SEI 3.0nm at 30KeV
4. Analysis range: 5B-92U
5. Channels: 5 WDS(two H type and three XCE type X-ray spectrometer)
6. Crystals: PETJ(2), PETHS, LIF(2), LIFHS, TAPJ, TAPH, LDE1, LDE2H
<부속 장비>
1. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer, Oxford/Ultim MAX 40)
2. CL(Cathololuminescence,CSIRO/Australia, xCLent V Pro, Spectral range: 300 to 900nm)
3. Transmission Polarizer
• 각종 시료(금속, 세라믹, 반도체, 광물, 생물시료 등)의 조성원소 정성 및 정량분석
• 특정영역의 원소분포(X-ray mapping)와 직선상의 원소분포(Line Analysis) 측정
• 암석 및 광물의 화학조성, 생성환경 및 상변화 측정, 편광이미지 측정
• 반도체, 광물, LED 등의 CL spectrum 측정 및 Panchromatic/RGB Image 관찰
| 구분 | 항목 | 단위 | 외부 | 교내 | 기타 | 비고 |
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분석의뢰 |
기본 사용(FE-SEM/WDS/EDS 포함) | 시간 | 120,000 | 80,000 | 협약대: 교내의뢰 금액 적용 | |
| CL analysis(기본사용 외 별도/추가 적용) | 시간 | 60,000 | 30,000 | |||
| Carbon(추가 적용) | 회 | 20,000 | 15,000 | |||
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직접사용 |
기본 사용(FE-SEM/WDS/EDS 포함) | 시간 | 60,000 | |||
| CL analysis(기본사용 외 별도/추가 적용) | 시간 | 20,000 | ||||
| Carbon Coating(추가 적용) | 회 | 10,000 |