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FE-EPMA, Field Emission Electron Probe Micro Analyzer
전계방출형 전자탐침 미세분석기
  • 호실
    113호
  • 제조사(모델)
    Jeol (JXA-8530F Plus)
  • 담당자
    이재명
  • 이메일
    ljm83@gknu.ac.kr
  • 연락처
    054-820-7348
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신청가능 시간
월화수목금토일
10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 X X

필독!  분석의뢰전 유의 사항

 

예약 전 반드시 관리자(ljm83@gknu.ac.kr, 054-820-7348)와 분석내용 상의 후 협의된 일자에 신청

 

1. 분석 시료 사용자 준비
- 고체 시료: 홀더 크기에 맞게 절단(마운트 시료는 높이 20mm 이하)
- 마운팅, 절단, 연마 등 본인 준비
- 분말시료는 분석 불가능, 반드시 압축하여 비드 형태나 마운팅 제작 후 폴리싱하기 바람.
- 생물시료: 고정, 탈수, 건조, 코팅 등 본인 준비

 

2. 시편의 형태

- 벌크 시편의 높이는 20mm이하이고 아래/위 수평이 유지되어야 함.

- 마운팅 시편은 높이 20mm 이하이고 아래, 위 수평이 되어야 함.

- 측정 표면은 경면 폴리싱(Colloidal Silica or Alumina) 처리되어야 측정 정확도 및 신뢰도가 높아짐.

- 가능하면 hot mounting(전도성 재료)을 권하며, 부득이한 경우 cold mounting(에폭시 재료)도 가능하나 경화후 충분히 가열 및 진공건조하기 바람.

- 시편 제작시 생긴 시료(마운팅)내 gas 및 수분은 충분히 제거된 후 측정 가능.

 

3. 마운트 시편의 크기

- 직경 25mm, 32mm, 36mm 가능(높이 20mm)

- 회전이 필요한 시편은 반드시 직경 25mm, 높이 20mm 이하로 제작

원리 및 특성

전계방출형 전자총(FE-Gun)에서 발생, 가속된 전자빔이 시료의 표면을 조사할 때 발생되는 특성 X-선을 여러 파장 영역대의 결정에 회절시킨 후 측정되는 파장과 강도로부터 마이크로 및 나노크기 영역의 구성원소의 정성분석 및 표준시료와의 비교 정량분석을 하며, 특정 라인상이나 영역의 원소의 분포양을 측정하는 Line analysis와 X-ray mapping이 가능하다. 또한 전자 조사에 의한 시료의 Outer Shell Electron의 전이에 의해 발생되는 가시광선 영역대의 음극발광(CL)으로부터 Spectrum 측정, 결합상태, 조직 결함 등을 측정한다.

규격

• 제작사: Jeol(Japan)

• 모델명: JXA-8530F Plus

<주요 사양>

 1. Electron gun: Schottky FE Emittoe

 2. Acceleration Voltage: 1-30KeV

 3. Resolution: SEI 3.0nm at 30KeV

 4. Analysis range: 5B-92U

 5. Channels: 5 WDS(two H type and three XCE type X-ray spectrometer)

 6. Crystals: PETJ(2), PETHS, LIF(2), LIFHS, TAPJ, TAPH, LDE1, LDE2H

<부속 장비>

 1. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer, Oxford/Ultim MAX 40)

 2. CL(Cathololuminescence,CSIRO/Australia, xCLent V Pro, Spectral range: 300 to 900nm)

 3. Transmission Polarizer

적용(응용)분야

• 각종 시료(금속, 세라믹, 반도체, 광물, 생물시료 등)의 조성원소 정성 및 정량분석
• 특정영역의 원소분포(X-ray mapping)와 직선상의 원소분포(Line Analysis) 측정
• 암석 및 광물의 화학조성, 생성환경 및 상변화 측정, 편광이미지 측정
• 반도체, 광물, LED 등의 CL spectrum 측정 및 Panchromatic/RGB Image 관찰

사용료
구분 항목 단위 외부교내기타 비고
분석의뢰
기본 사용(FE-SEM/WDS/EDS 포함) 시간 120,00080,000 협약대: 교내의뢰 금액 적용
CL analysis(기본사용 외 별도/추가 적용) 시간 60,00030,000
Carbon(추가 적용) 회 20,00015,000
직접사용
기본 사용(FE-SEM/WDS/EDS 포함) 시간 60,000
CL analysis(기본사용 외 별도/추가 적용) 시간 20,000
Carbon Coating(추가 적용) 회 10,000


  1. 교내의뢰의 경우 사용자 직접 조작가능 기기에 한해 교내의뢰 금액에서 일정비율 감면함.
  2. 교육용으로 이용시(학부 교과과정상의 실험실습과목)에는 사용료를 면제할 수 있다(재료비는 학과 부담). 단, 교수 1인, 한학기 1교과목, 총 8시간을 초과하지 않는다
  3. 외부 시료를 교내의뢰를 통하여 분석하는 경우 발견 시 외부금액 적용함.
  4. 위 표에 명시되지 않은 기기와 시료의 전처리 및 분석결과의 특별한 해석 의뢰시는 별도로 금액을 산정함.
  5. 연구 프로젝트 성격상 특정 기기를 많이 사용할 경우 사용료의 일정액을 감면하는 프로젝트당 사용료 계약을 할 수 있다.
  6. 야간 및 휴일에 기기를 사용할 경우 근무시간내 금액의 1.5배를 적용한다.
  7. 위 금액은 사정에 따라 변동, 조정될 수 있음.
  8. 기기사용 예약 후 1일 전(오후 6시)까지 예약취소 없이 사용하지 않을 경우 예약 시간만큼 사용료 청구됨.
  9. 기기사용료 입금: 신한은행, 예금주: 국립경국대학교(공동실험실습관), 계좌번호: 140-003-070707
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