국립경국대학교 공동실험실습관

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신청가능 시간

월	화	수	목	금	토	일
10:00 - 18:00	10:00 - 18:00	10:00 - 18:00	10:00 - 18:00	10:00 - 18:00	X	X

필독! 분석의뢰전 유의사항

1. 기기이용 안내

- 본 장비는 공실관 보유 2대의 FE-SEM 중 외부 전용 기기입니다.

- EDS, EBSD 동시 사용자는 전자후방산란회절기(EBSD) 장비를 동일시간에 함께 신청하시기 바랍니다.

- 외부 의뢰자는 분석예약 전 반드시 관리자(054-820-7348, 이메일: ljm83@gknu.ac.kr)와 시료 및 분석내용에 대해 상담 후 지정된 날자에 신청 및 방문/사용하시기 바랍니다.

- 교내 이용자는 Tescan MIRA3 기기를 신청/이용하시기 바랍니다.

- 예약 후 1일전(분석시간 기준)까지 미 취소시 기본금액 적용

2. 시료 유의사항(아래 조건을 만족하지 않는 시료는 접수되지 않습니다)

- 분말시료는 기기내부 및 detector 오염 문제로 접수되지 않으니 반드시 펠릿 혹은 비드 형태로 압축하거나 마운트 후 분석표면까지 폴리싱하시기 바랍니다.

- 벌크 시료는 반드시 완전 건조되어야 합니다. 실험이나 공정 중 수분이나 기타 유기용매가 함유된 경우 용매 제거 및 진공하에서 수분을 건조하시기 바랍니다.

- 시료성분 중 현미경내에서 전자빔에 의해 휘발되는 성분이 포함된 경우 분석이 불가합니다(현미경 내 EBSD detector 오염 발생).

- 고체 시료: 홀더 크기(직경 25mm)에 맞게 절단, 표면 연마 등 본인 준비
- 생물 시료: 고정, 탈수, 건조 등 본인 준비(시료 전처리 방법은 문의시 protocol 제공)
- EBSD 시료: 마운팅시 시료는 끝부분에 위치(마운트 중간에 위치시 측정 불가능) / 마운트시 전도성 소재 사용 / 표층 50nm 이내에서 kikuchi pattern이 발생되므로 표면 경면연마(grinding, polishing 후 CS polishing) 필요, 연마 후 진공에서 완전 건조.

사전에 상의하지 않거나 시료가 분석조건에 만족하지 않은 택배발송된 시료는 반송(착불 택배)되며, 접수 건은 취소됩니다.

원리 및 특성

• SE image: 전계방출형 전자총(FE-tip)에서 발생, 가속된 전자빔이 시료의 표면을 조사할 때 발생되는 2차 전자(SE, Secondary Electron)으로부터 시료의 미세 조직(Morphology)을 확대, 관찰

• BSE image: 조사된 전자빔이 시료 내부를 통과하여 다시 표면 위로 나오는 후방산란전자(BSE, Backscattered Electron)으로부터 시료내부의 조성 이미지를 관찰

• EDS: 전자빔 조사시 시료 내부에서 발생되는 특성 X-ray의 에너지를 측정하여 시료의 구성원소를 정성분석, 라인상이나 특정 영역의 원소의 분포(Line anaysis/X-ray mapping) 측정

• EBSD: 전자빔 조사시 결정성 시료 조직의 극표면층(~50nm)에서 발생되는 후방산란 회절빔인 Kikuchi pattern을 측정하여 시료 조직의 grain size/distribution, phase, orientation, misorientation 등을 분석

규격

1. 제작사: Tescan(Czech)

2. 모델명: Clara

3. 전자총: Schottky Emitter

4. 가속전압: 0.2 ~ 30keV

5. 해상도: SE 1.0nm

6. Detectors: SE, LE-BSE, Axial detector, Multi detector

7. 부착장비:

EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer, EDAX Octane Elite Super)

EBSD(Electron Backscattered Diffraction, EDAX Velocity Ultra)

적용(응용)분야

• 금속, 세라믹, 고분자, 광물, 생물시료 등 각종시료의 극 미세구조(~nm size) 확대, 관찰

• 시료의 조성원소의 정성 및 정량분석, X-ray mapping, Line analysis(EDS)

• 시료 조직의 phase, grain size, orientation, texture, strain 등 측정(EBSD)

사용료

구분	항목	단위	외부	교내	비고
분석의뢰	현미경 사용	시간	70,000	55,000	협약대: 교내의뢰 금액 적용
	Au coating	30초	20,000
	Au coating	30초		15,000
	EBSD analysis - 별도 전자후방산란회절기 신청/사용	시간
직접사용	현미경 사용	시간		40,000
직접사용	Au coating	30초		10,000

교내의뢰의 경우 사용자 직접 조작가능 기기에 한해 교내의뢰 금액에서 일정비율 감면함.
교육용으로 이용시(학부 교과과정상의 실험실습과목)에는 사용료를 면제할 수 있다(재료비는 학과 부담). 단, 교수 1인, 한학기 1교과목, 총 8시간을 초과하지 않는다
외부 시료를 교내의뢰를 통하여 분석하는 경우 발견 시 외부금액 적용함.
위 표에 명시되지 않은 기기와 시료의 전처리 및 분석결과의 특별한 해석 의뢰시는 별도로 금액을 산정함.
연구 프로젝트 성격상 특정 기기를 많이 사용할 경우 사용료의 일정액을 감면하는 프로젝트당 사용료 계약을 할 수 있다.
야간 및 휴일에 기기를 사용할 경우 근무시간내 금액의 1.5배를 적용한다.
위 금액은 사정에 따라 변동, 조정될 수 있음.
기기사용 예약 후 1일 전(오후 6시)까지 예약취소 없이 사용하지 않을 경우 예약 시간만큼 사용료 청구됨.
기기사용료 입금: 신한은행, 예금주: 국립경국대학교(공동실험실습관), 계좌번호: 140-003-070707