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Nano Mill(TEM Specimen Preraration System)
이온 연마기(TEM Specimen)
  • 호실
    117호
  • 제조사(모델)
    Fischione (M1040 Nano Mill)
  • 담당자
    이재명
  • 이메일
    ljm83@gknu.ac.kr
  • 연락처
    054-820-7348
예약/신청하기
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신청가능 시간
월화수목금토일
10:00 - 17:30 10:00 - 17:30 10:00 - 17:30 10:00 - 17:30 10:00 - 17:30 X X
점심시간 이용불가 : 12:00 ~ 13:00

필독!  분석의뢰전 유의 사항

 

예약 전 반드시 관리자(ljm83@gknu.ac.kr/054-820-7348)와 분석내용 상의 후 협의된 일자에 신청함.

 

시편 준비사항;
- Lamella는 반드시 lift-out grid의 중앙에 위치하여야 함(3 post의 경우 2번 위치에, 5 post의 경우 2, 3, 4번에 lamella 부착)

- 


1시간 미만은 1시간으로 간주함.

원리 및 특성

1. 저전압 이온빔으로 TEM 시편 박막 가공(~50nm)

2. FIB lamella 가공후 표면 Ga 오염층 및 비정질 부분 제거

3. Plasma Cleaner와 함께 TEM 관찰 전 최종 시편 가공 작업

규격

• Variable Voltage: 50eV to 2kV

• Beam Current Density: 1mA/cm2

• Milling angle range: -10 to +10 degree

적용(응용)분야

• 금속재료 등의 TEM 관찰을 위한 박막 가공(100nm 이하 두께)

사용료
구분 항목 단위 외부교내기타 비고
분석의뢰
표면연마 시료/시간 100,00080,000 협약대: 교내의뢰 금액 적용
직접사용
표면 연마 시료/시간 50,000


  1. 교내의뢰의 경우 사용자 직접 조작가능 기기에 한해 교내의뢰 금액에서 일정비율 감면함.
  2. 교육용으로 이용시(학부 교과과정상의 실험실습과목)에는 사용료를 면제할 수 있다(재료비는 학과 부담). 단, 교수 1인, 한학기 1교과목, 총 8시간을 초과하지 않는다
  3. 외부 시료를 교내의뢰를 통하여 분석하는 경우 발견 시 외부금액 적용함.
  4. 위 표에 명시되지 않은 기기와 시료의 전처리 및 분석결과의 특별한 해석 의뢰시는 별도로 금액을 산정함.
  5. 연구 프로젝트 성격상 특정 기기를 많이 사용할 경우 사용료의 일정액을 감면하는 프로젝트당 사용료 계약을 할 수 있다.
  6. 야간 및 휴일에 기기를 사용할 경우 근무시간내 금액의 1.5배를 적용한다.
  7. 위 금액은 사정에 따라 변동, 조정될 수 있음.
  8. 기기사용 예약 후 1일 전(오후 6시)까지 예약취소 없이 사용하지 않을 경우 예약 시간만큼 사용료 청구됨.
  9. 기기사용료 입금: 신한은행, 예금주: 국립경국대학교(공동실험실습관), 계좌번호: 140-003-070707
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