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EBSD, Electron Back Scattered Diffraction(EDAX)
전자후방산란회절기-외부 전용기기(EDAX)
  • 호실
    110호
  • 제조사(모델)
    Edax (Velocity Ultra)
  • 담당자
    이재명
  • 이메일
    ljm83@gknu.ac.kr
  • 연락처
    054-820-7348
예약/신청하기
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신청가능 시간
월화수목금토일
10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 10:00 - 18:00 X X

필독!  분석의뢰전 유의 사항

 

예약 전 반드시 관리자(ljm83@gknu.ac.kr/054-3820-7348)와 분석내용 상의 후 협의된 날자에 신청.

 

1. 시료 준수사항;

- 시료 크기는 1cm*1cm 이내로 절단, 표면은 경면 폴리싱 필수

- 마운트 시료의 경우 시료 측정부위가 가장자리에 위치하도록 마운팅.
- 분말 시료의 경우 마운트 후 경면 폴리싱까지 연마 필요

원리 및 특성

1. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer/EDAX Elite Super)
• 시편 표면에 전자빔이 조사될때 내부에서 발생되는 X-선의 에너지를 검출하여 시료내의 조성 성분을 검출(정성분석/Qualitative Analysis)

• 시료의 특정 라인상의 원소의 분포 측정(Line Analysis)

• 시료의 일정 영역을 전자빔 조사하여 존재하는 특정 원소의 함량을 지도화(X-ray mapping)

2. EBSD(Electron BackScattered Diffraction/EDAX Velocity Ultra)

• 전자빔 조사시 결정성 시료 조직의 극표면층(~50nm)에서 발생되는 후방산란 회절빔인 Kikuchi pattern을 측정하여 시료 조직의 grain size/distribution, phase, orientation등을 분석(EBSD)

규격

1. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)

 • Detector type: SDD

 • Detector Size: 70mm2

 • Resolution: 125eV

 • Window: Si3N4

 

2. EBSD(Electron BackScattered Diffraction)

 • Sensor type: CMOS

 • Sensor size: 640X480

 • Acquisition speed: 6,700 pps

 • Image size: 120X120 pixel

적용(응용)분야

• 각종 재료물질(금속, 세라믹, 광물 등)의 조성원소의 정성 및 정량분석(EDS)

• 시료 표면의 일정 영역의 원소분포 측정(EDS X-ray mapping, Line analysis)

• 시료 결정성 조직의 phase, grain size, orientation, texture, strain 등 측정(EBSD)

사용료
구분 항목 단위 외부교내기타 비고
분석의뢰
EDS analysis 시간 40,00020,000 협약대: 교내의뢰 금액 적용
EBSD analysis 30분 50,00040,000
EBSD 초과사용 30분 30,00025,000
직접사용
EDS analysis 시간 15,000


  1. 교내의뢰의 경우 사용자 직접 조작가능 기기에 한해 교내의뢰 금액에서 일정비율 감면함.
  2. 교육용으로 이용시(학부 교과과정상의 실험실습과목)에는 사용료를 면제할 수 있다(재료비는 학과 부담). 단, 교수 1인, 한학기 1교과목, 총 8시간을 초과하지 않는다
  3. 외부 시료를 교내의뢰를 통하여 분석하는 경우 발견 시 외부금액 적용함.
  4. 위 표에 명시되지 않은 기기와 시료의 전처리 및 분석결과의 특별한 해석 의뢰시는 별도로 금액을 산정함.
  5. 연구 프로젝트 성격상 특정 기기를 많이 사용할 경우 사용료의 일정액을 감면하는 프로젝트당 사용료 계약을 할 수 있다.
  6. 야간 및 휴일에 기기를 사용할 경우 근무시간내 금액의 1.5배를 적용한다.
  7. 위 금액은 사정에 따라 변동, 조정될 수 있음.
  8. 기기사용 예약 후 1일 전(오후 6시)까지 예약취소 없이 사용하지 않을 경우 예약 시간만큼 사용료 청구됨.
  9. 기기사용료 입금: 신한은행, 예금주: 국립경국대학교(공동실험실습관), 계좌번호: 140-003-070707
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