1. 주사탐침현미경, 다른 표현으로 원자힘현미경은 마이크로머시닝(micromachining)으로 제작된 탐침을 시료 표면에 가져갔을 때 생기는 원자 간의 상호작용력을 측정
2. 시료의 표면을 nm 단위 이하로 3차원적 형상으로 분석할 수 있음
3. 대기는 물론이고 진공, 액상에서 초정밀 분해능으로 도체, 반도체, 부도체, 생체 시료 등 모든 시료의 표면 관찰 및 부가적인 특성 평가가 가능함
4. 하드웨어적인 Closed-loop Feedback 제어로 정확한 이미징이 가능함
5. 수직(Z) 스캐너와 수평(XY) 스캐너를 분리하여 상호간섭 배제
• 최대 샘플 크기: 20mm x 20mm x 20mm(X,Y,Z) / 4개까지 장착 가능(Multi sample chuck)
• 최대 샘플 중량: 500g
• 샘플 이동거리(XY): 최대 105mm x 40mm (고정밀 모터 스테이지)
• 최대 100㎛ 수평(XY) 스캐너: Closed-loop Feedback 제어
• 수평(XY) 측정영역: 최대 100㎛ x 100㎛
• Out-of-plane curvature: 1nm미만 (수직방향/소프트웨어 보정 없이, 80㎛ 측정 시)
• 분리형 수직(Z) 스캐너 * 수직(Z) 측정 영역: 최대 15㎛
• 분리형 수직(Z) 스테이지 이동: 22mm
• Z Resonant Frequency: 9KHz
• 캔틸레버 변형의 검출 방식: SLD(Super Luminescent Diode) 이용
• 파장: 830nm(Coherent Length : 50㎛ 미만)
• 캔틸레버 진동 주파수 : 16Hz to 5MHz
• 측정 Resolution: 0.01nm 이하
• 각종 재료, 천연광물의 원자단위의 3차원적인 미세표면 구조 관찰
• 각종 생물시료의 액상에서의 미세 형상관찰(DNA, RNA 전이 등)
• 여러 재료물질의 강유전체 특성 측정, 자성체의 자기형상 측정
| 구분 | 항목 | 단위 | 외부 | 교내 | 기타 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|---|
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분석의뢰 |
기본모드 | 시간 | 70,000 | 40,000 |
직접 사용(팁 사용자 준비) 단위 시간 미만 사용 시 단위 시간으로 적용 |
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| 응용모드 | 시간 | 80,000 | 50,000 | |||
|
직접사용 |
기본모드 | 시간 | 20,000 | |||
| 응용모드 | 시간 | 30,000 |
