• 초순수 (UP-비저항 18.2 ㏁-cm (Resistivity)) 생산 장치
• 최대 1 ton/hr의 초순수를 안정적으로 생산
• 자외선 살균장치로 미생물 제거 및 번식억제 기능 장착
• 실시간 수질 상태 표시 기능
• 순 도 : 18 ㏁-cm
• 생산량 : 0.2톤/hr
• Total dissolved solid : 20ppb 미만
• Total organic carbon : 10ppb 미만
• Heavy metals : 1ppb 미만
• 수질, 환경분석 시 사용되는 초순수 생산
• 반도체 공정 시 세척에 필요한 초순수를 대용량으로 생산
| 구분 | 항목 | 단위 | 외부 | 교내 | 기타 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
직접사용 |
초순수 | L | 1,500 | 1,000 |