국립경국대학교 공동실험실습관

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원리 및 특성

1. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer/OXFORD Aztec Adv. Ultim Max)
• 시편 표면에 전자빔이 조사될때 내부에서 발생되는 X-선의 에너지를 검출하여 시료내의 조성 성분을 검출(정성분석/Qualitative Analysis)

• 시료의 특정 라인상의 원소의 분포 측정(Line Analysis)

• 시료의 일정 영역을 전자빔 조사하여 존재하는 특정 원소의 함량을 지도화(X-ray mapping)

2. EBSD(Electron BackScattered Diffraction/OXFORD HKL Symmetry S3)

• 전자빔 조사시 결정성 시료 조직의 극표면층(~50nm)에서 발생되는 후방산란 회절빔인 Kikuchi pattern을 측정하여 시료 조직의 grain size/distribution, phase, orientation등을 분석(EBSD)

규격

1. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)

• Detector type: SDD

• Detector Size: 100mm2

• Resolution: 127eV

• Window: SATW Light Element

2. EBSD(Electron BackScattered Diffraction)

• Sensor type: CMOS

• Acquisition speed: 5,700 pps

• Image size: 1244X1024 pixel

적용(응용)분야

• 각종 재료물질(금속, 세라믹, 광물 등)의 조성원소의 정성 및 정량분석(EDS)

• 시료 표면의 일정 영역의 원소분포 측정(EDS X-ray mapping, Line analysis)

• 시료 결정성 조직의 phase, grain size, orientation, texture, strain 등 측정(EBSD)

사용료

구분	항목	단위	외부	교내
분석의뢰	EDS analysis	시간	40,000	20,000
	EBSD analysis	30분	50,000	40,000
	EBSD 초과사용	30분	30,000	25,000
직접사용	EDS analysis	시간		15,000

교내의뢰의 경우 사용자 직접 조작가능 기기에 한해 교내의뢰 금액에서 일정비율 감면함.
교육용으로 이용시(학부 교과과정상의 실험실습과목)에는 사용료를 면제할 수 있다(재료비는 학과 부담). 단, 교수 1인, 한학기 1교과목, 총 8시간을 초과하지 않는다
외부 시료를 교내의뢰를 통하여 분석하는 경우 발견 시 외부금액 적용함.
위 표에 명시되지 않은 기기와 시료의 전처리 및 분석결과의 특별한 해석 의뢰시는 별도로 금액을 산정함.
연구 프로젝트 성격상 특정 기기를 많이 사용할 경우 사용료의 일정액을 감면하는 프로젝트당 사용료 계약을 할 수 있다.
야간 및 휴일에 기기를 사용할 경우 근무시간내 금액의 1.5배를 적용한다.
위 금액은 사정에 따라 변동, 조정될 수 있음.
기기사용 예약 후 1일 전(오후 6시)까지 예약취소 없이 사용하지 않을 경우 예약 시간만큼 사용료 청구됨.
기기사용료 입금: 신한은행, 예금주: 국립경국대학교(공동실험실습관), 계좌번호: 140-003-070707